推出CXF-250/2302、CXF-320/3002型磁悬浮分子泵，并实现量产。研制成功CXF-200/1401CV、CXF-250/2301CV、CXF-200/1401CS型磁悬浮分子泵。

研制成功CXF-320/3000型磁悬浮分子泵。

突破第二代磁悬浮轴承及控制技术，推出一体磁悬浮分子泵CXF-200/1401、CXF-250/2301磁悬浮分子泵，并实现量产。

研制生产的全计算机控制扫描电镜KYKY-3800型扫描电子显微镜，在第八届北京国际分析测试学术报告会及展览会（BCEIA）上，获“优秀国产分析测试仪器金奖”。

国内首家推出FF-40/25、FF-63/80、FF-100/150、FF-100/300系列一体化分子泵，并进入分析仪器行业。

CXF-200/1400、CXF-250/2300型磁悬浮分子泵实现量产，在第12届国际真空展上正式推出，并进入半导体行业。

研制成功FF-160/700F、FF-200/1300F、FF-200/1300N型复合分子泵；研制成功FF-200/1200G型抗冲击分子泵。

研制成功国家“02重大专项”成果CXF-250/2300型磁悬浮分子泵工程样机,并首次亮相十一五重大科技成果展。

研制成功FF-250/1600B型复合分子泵；研制成功FF-250/2000型复合分子泵。

研制成功FF-160/500G型抗冲击专用分子泵；研制成功FF-100/110型任意角度安装分子泵；研制成功FD-II型自动识别控制器；承担国家“02重大专项”——磁悬浮分子泵的研发任务。

研制成功FF-200/1300任意角度安装分子泵，并通过省部级鉴定。
研制成功FF-250/1600型复合分子泵；研制成功FD-II控制器。

研制成功FF-160/700任意角度安装分子泵，并通过国家省部级鉴定。

研制成功FF-200/1200复合分子泵。

研制成功FF-160/620复合分子泵进入市场。

研制成功F-400/3500涡轮分子泵，并通过省部级鉴定。

研制成功F-250/1500涡轮分子泵，研制成功F-100/150检漏仪用涡轮分子泵。

研制成功FF-160/500复合型分子泵。

研制成功F-100/110涡轮分子泵通过中科院鉴定，首批应用于正负电子对撞机。

研制成功国内第一台立式F-160/450涡轮分子泵，通过科学院鉴定。